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MIIM元件的解析

来源:上海柳晶电子电器有限公司

发布时间:2013-09-11 09:19:54

  采用金属、绝缘层、金属结构的二极管元件一直是发展前景被看好但又遥不可及的技术之一,它可作业于较矽元件更高的Thz级频率,而且功耗更低,产生的热量也较少。
 
  MIM二极管使用量子穿隧技术,它可让电子从一个金属电极跳转到另一金属电极,而不致于干扰到中间的绝缘层,因而能够降低功耗与热。然而,目前在这方面的研究发展进度一直很缓慢。
 
  透过在MIM结构上增加第二绝缘层形成MIIM结构,可望增强这项技术,使其得以用于解决MIM元件的问题,并进一步推动这项技术迈向主流。
 
  业界一般在上下电极采用两种不同金属的作法,但这可能由于不同金属之间的功能差异而造成限制。透过采用两种不同的绝缘层──一层具有较大能隙,另一层能隙较小──我们可以取得更多的不对称性,甚至能覆盖掉不同金属的不对称性。」
 
 
  从MIIM元件的穿透式电子显微镜(TEM)影像可看出其中排列的非晶锆、氧化铪、氧化铝以及铝(由左至右)共4层结构。
 
  采用两个绝缘层──氧化铪、氧化铝,实现了所谓的步进穿隧技术,能够更精确地控制二极管的不对称性,从而能在低电压时调整元件性能。
 
  这种新的MIIM元件可用于改善目前普遍使用的各种电子设备,从液晶显示器(LCD)到手机与电视,以及新一代的设备,如可将辐射热转换为电力的红外线太阳能电池。
 
  最重要的就是红外线天线,它可在特殊的红外线太阳能电池中采集到红外线能源。
 
  接下来,研究人员们希望能够最佳化这一技术制程,以因应采用更多金属绝缘层的应用,如电晶体。
 
  MIIM结构本身只是一颗二极管,因打算以其它结构来打造这些元件,以提高其性能。

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